프리(프라 임)디스펜 스 - pre - dispense

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

스핀식 처리장치에 있어서, 레지스트, 현상액 등의 약액(藥液)을 웨이퍼에 도포하기 전에, 앞에서 했던 공정으로 남아있는 배관 중의 약품을 배출시켜, 신선한 약품으로 다시 주입하는 동작.