기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

후처리실 - post - treatment chamber

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
동일 장치내에 있어, 주 식각공정 후의 웨이퍼를 처리하는 방. 애프터코로젼(aftercorrosion) 대책의 처리실이 이 예이다.