포지티브레지스트 - positive resist

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 10 오후 3:00:00

빛, X선 또는 전자빔으로 노광하면 현상액이 녹아, 현상할 때 기판 표면에서 제거되는 특성을 가진 감광성 재료로써, 내식각성이 강하고 콘트래스트～2.2정도로 높으며, 해상력이 뛰어나지만, 열적 특성이 떨어진다.