유즈포인트 - point of use

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

서브시스템에서 유즈조인트배관으로 유도되는 초순수를, 웨이퍼처리공정에 있어서 세정 등의 목적으로 사용하기 위해, 배출하는 지점