플라즈마 트랩 - plasma trap

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

CVD장치 등에서 진공펌프 등을 보호하기 위해, 플라즈마를 이용하여 반응부산물을 제거하는 장치.