기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
플라자마 TEOS CVD - plasma TEOS CVD
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
저압 CVD의 반응실 내에 반응가스로서 TEOS를 공급하며, 전극간의 고주파전압을 걸어주고 플라즈마를 발생시켜, 웨이퍼 위에 SiO3막을 형성하는 방법. 도핑재료로서는 B, P가 이용되고 있다.
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