플라즈마 양극(陽極) 산화장치 - plasma oxidation system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

화학적으로 활성화한 산소플라즈마와 웨이퍼와의 반응으로 산화막을 형성하는 장치. 열산화법에 비하여 저온에서 막을 성장시킬 수 있다.

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