플라즈마 플러드건 - plasma flood gun

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

전자 플러드건과 같은 목적으로 양(+)의 전하를 중화하는 기구. 플라즈마를 이용하여 웨이퍼 위에 저에너지의 전자만을 주입하도록 한다. 전자 플러드건에 비해 전자의 과잉공급이 잘 일어나지 않는다.