플라즈마 식각장치 - plasma etching system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

반응성 가스 플라즈마를 이용한 건식식각장치인데, 웨이퍼의 전위가 아주 높은 부유전위(floating voltage)여야 하는 식각장치. 주로 중성라디칼의 작용으로 식각이 진행된다.