플라즈마 디스컴장치 - plasma descum system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

산소를 포함한 가스를 넣은 반응실 내에 고조파 전력을 인가하여 화학적인 활성 플라즈마를 발생시켜, 이것에 의해 패터닝된 레지스트 상(像)의 스컴을 제거하는 장치.