플라즈마 오염 - plasma contaminat - ion

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

플라즈마 중에 일어나는 오염. 오염물의 생성원인으로써는 식각잔재와 같은 것뿐만 아니라, 장치를 구성하는 재료의 중금속, Na+ 등의 알칼리이온 등이 있다. 오명물이 표면에 퇴적되거나, 내부로 들어가는 경우가 있다.