플라즈마박막화법 - plasma assisted controlled thinning method

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

Si 웨이퍼와 석영유리 등의 각종 재료로 초고정밀도의 평탄도를 요구하는 얇은 판을 가공하는 방법으로써, 표면상태를 측정하면서, 국부적으로 플라즈마로 식각하여 고정밀도로 가공하는 방법.