평탄화 - planarization

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

배선의 다층화에 따르는 세로구조 단차의 굴곡을 완화하는 기술. 절연막의 평탄화법으로써는 도포법, 바이어스 스퍼터링법, 리플로우(reflow)법, 식각법, 리프트오프(lift-off)법이 있고, 금속막의 평탄화법으로써는 바이어스 스퍼터링법, CVD선택성장법 등이 있고, CMP법으로 얻어지는 웨이퍼 전면을 평탄화하 것을는 특히 전면평탄화(global planarization)이라고 부른다.

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