평판마그네트론스퍼터링장치 - planar magnetron sputtering system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

자력선이 평판 모양의 타겟 속에서 나와 다시 타겟쪽으로 돌아가는 구조의 캐소드(cathod)구조로 되어 있다. 자기장은 타겟 위에서 루프모양(race track)으로 전자를 이 공간에 가두는 구조로 되어 있다.