핀 척 - pin chuck

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼를 흡착유지하기 위한 척인데, 웨이퍼 뒷면과 척 표면 지지부분에 접촉면적이 적게 하기 위해, 웨이퍼를 지지하는 부분에 핀모양의 돌기를 다수 배열한 척.