포토리피터 - photo repeater

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레티클 패턴의 축소 투영상에 대하여, 포토 마스크를 중복해서 스텝(step)시켜서 노광하는 축소 투영 노광장치.