광여기식각 장치 - photo excited etching system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

식각실내에 반응성가스를 주입하여, 자외선․가시광선 등을 가스 또는 웨이퍼에 조사함으로써 라디칼을 발생시켜 식각하는 장치.