광 CVD장치 - photo assisted CVD system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

빛 에너지로 기체분자를 분해하고, 저온으로 웨이퍼 위에 박막을 형성하는 CVD장치. 사용하는 광원에 따라 레이저CVD장치와 램프CVD장치로 구분된다.