위상차측정장치 - phase shift measure - ment system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

마하엔터간섭계를 응용하여 스테퍼의 노광파장과 동일한 파장에서 위상 시프트 마스크의 위상차 혹은 투과율을 측정하는 장치