펠리클 검사장치 - pellicle inspection system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

빛의 투과 또는 산란, 반사 등을 이용하여 펠리클 위의 이물 또는 결함을 검사하는 장치. 이 기능이 부가된 마스크 이물검사장치도 있다.