패턴시프트 치수변환량 - patternshift critical dimension loss

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

그림에 도시된 것처럼, 식각 전의 식각마스크의 선폭에서 완성된 식각 재료의 선폭 또는을 뺀 값으로써, 다음식에 의해 구해진다. 패턴시프트=- 또는 -