패턴형성장치 - pattern lithography system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

마스크 블랭크 위에, 원화 패턴을 형성하기 위해, 노광묘화, 현상, 베이킹, 식각, 레지스트 제거, 세정 등을 행하는 장치의 총칭