패턴제너레이터 - pattern generator

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

가변(可變) 개구(aperture)의 축소 투영상을 포토마스크에 중복 노광시킴으로써 포토마스크에 패턴을 연소시켜 붙이는 노광장치