패턴밀도 - pattern density

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

포토마스크에 묘화된 단위면적당 도형의 수. 전자빔, 레이저 묘화장치에서 칩 단위 혹은 셀 단위 등의 묘화 데이터 수로 표현된다