결함수정장치 - pattern defect repair system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

기판 위에 형성된 패턴의 결합을 수정하는 장치로써, 스폿 노광장치․레이저빔수정장치․집속이온빔수정장치 등이 있다.