결함검사 장치 - pattern defect inspection system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

기판 위에 형성된 패턴의 결함의 유무를 검사하는 장치. 데이터 비교에 의한 검사방식과 패턴 비교에 의한 검사방식이 있다.