검사수정장치 - pattern defect inspection and repair system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

기판 위에 형성된 패턴의 치수와 결합의 유무를 검사하고, 결함이 있을 경우, 이 결합을 수정하기 위한 장치의 총칭. 치수측정장치․결함검사장치․결함수정장치 등이 있다.