패턴비교 검사장치 - pattern compensat - oin inspection system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

검사하려는 마스크 패턴을 마스크의 안 또는 마스크 사이의 패턴과 비교하여, 이 두 개의 패턴이 일치하지 않는 부분을 패턴결함으로 인식하는 검사장치.