기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
평행평판형 RIE장치 - parallel plate reactive ion etching system
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
식각실내에 마주보는 한 쌍의 평행평판형 전극을 구비하고, 한 쪽 방향의 전극에 고주파를 인가하고, 다른 한 쪽 전극을 접지전위로 하여, 어떤 한 쪽 전극 위에 웨이퍼를 놓고 식각하는 반응성이온 식각장치.
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