평행 다운플로우 린스 - parallel downflow rinse

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

침적린스조의 윗 방향 먼저 순수를 공급하면, 수조의 밑 부분에 설치된 다공판을 통과하고 같은 유량으로 펌프배수되어 수조 내에 균일한 유속분포의 하강흐름(downflow)이 형성되고, 이 흐르는 순수로 린스한다. 좁은 웨이퍼 간극으로 물이 잘 흐르므로, 수조 안으로 순수의 흐름이 멈추지 않고, 효율이 양호한 린스를 할 수 있다.

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