평행 빔 - parallel beam

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

이온빔을 스캔하여 주입하는 경우, 웨이퍼표면에의 이온의 입사각도가 웨이퍼 전면(全面)에서 동일한 이온빔. 이차원적으로 평행화하여 스캔하는 방식과 일차원적으로 평행화하는 하이브리드방식이 있다.