오존첨가 초순수 - ozonized ultrapure water

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

미량(ppm 단위)의 오존을 첨가한 초순수. 초순수 속에 용해된 오존은 세정 중에 강력한 산화제로써 작용하며, Si 웨이퍼 위의 계면활성제 등의 잔류유기물을 분해․제거하고, 균일하고 평탄한 산화막을 형성한다.