N2O산질화 산질화산화 - oxynitridat - ion in N2O (NO)

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

N2O 또는 NO가스를 이용하여 웨이퍼를 산질화(oxynitridation)하는 방법. 본 방법으로 얻어지는 초박막산질화막은 산소원자에 의한 계면특성이 개선되기 때문에, 종래의 열산화법으로 얻어지는 산화막에 비해 전기특성이 향상된다.