산소도너 - oxygen donor

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

쵸크랄스키법으로 성장한 Si 결정을 결정성장직후의 냉각시킬 때, 450℃전후의 열처리에서 발생하는 산소도너. 결정의 저항률이 변해버린다.