분류(噴流)식 식각장치 - overflow cup etching system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

화학식각액을 컵 모양의 용기에서 넘치는 것처럼 흐르게 하고, 식각면이 이 액체면에 접촉하도록 회전시키면서 웨이퍼의 한 부분의 면만 식각하는 장치.