회전평탄 정합장치 - orientation flat arrange equipment

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

카세트 안의 웨이퍼의 오리엔테이션 플랫을 한 쪽 방향으로 정렬하는 장치. 웨이퍼를 이동, 탑재할 때 처킹(chucking)을 확실하게 하기 위해, 또는 처리 장치 안에의 웨이퍼의 위치를 결정을 부드럽게 하기 위해 사용되고 있다.