보조패턴 OPC - optical proximity correction

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

마스크 패턴을 웨이퍼에 비출 때, 미리 변형될 값을 계산하여, 이변형값을 보정하는 패턴