주변노광 선택노광 - optical edge bead remover

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼 주변부에 부착된 레지스트를 제거하는 한 방법으로, 현상할 때의 주변부 레지스트가 제거되도록 웨이퍼 주변을 노광하는 것. 액체에 의한 린스제거법에 비해, 오리엔테이션 플랫부분도 함유하는 레지스트의 제거가 가능하다. 웨이퍼 주변부의 레지스트를 제거하는 것은 노광기 등의 다른 장비에서, 파티클의 발생원이 되는 것을 방지하기 위함이다.

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