표면부착입자 측정기 표면결함 측정기 - optical detector of particle on surface surface scanner

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼 위의 입자수와 분포를 측정하는 기구. 웨이퍼의 윗 방향에서 레이저광을 조사하고, 각 각도에 따라 웨이퍼 위의 입자로부터의 산란광을 검출한 전기신호가 변화하여 위치의 정보와 함께 표시한다.