오픈 카세트 - open cassette

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼를 수납하여 장치 사이를 반송하는 용기. 웨이퍼를 지지하는 부분와, 반송할 때 용기자체를 눌러 주는 부분와, 이것들을 지지하는 지지부로 이루어지며, 웨이퍼 수납부분에 공기를 차단하는 용기가 없고, 개방되어 있는 웨이퍼반송장치