기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

일조식 세정장치 원 배쓰식 세정장치 - one bath type cleaning equipment

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
한 개의 세정처리부(수조․탱크․챔버 등)에서 여러 세정처리를 순차적으로 진행할 수 있는 장치. 장치점유면적이 작지만, 반면에 쓰루풋(throughput)이 저하된다.