온액시스 정렬 - on - axis

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

노광위치와 동일한 위치에서 실시하는 정렬. 쓰루풋이 오프액시스정렬에 비해 낮다. 이 정렬방법은, 오프액시스정렬의 오차를 제거하는 데 이용된다.