오프액시스 정렬 - off - axis alignment

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

노광위치와 다른 위치로 정렬한 광학계를 배치하여, X방향, Y방향, θ방향의 위치정합을 행하는 방법. 쓰루풋이 높다.