기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
잔류입자수 - number of unremov - able particle
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
세정처리 후, 웨이퍼 표면 위에 잔류한 입자의 수.
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