노즐 스캔 - nozzle scan

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레지스트의 도포와 현상에 있어서, 노즐을 원점에서 웨이퍼 중심(또는 주변)까지 이동시켜, 도포액을 배출시키는 것. 도포액을 배출하면서 노즐을 이동시키는 시키는 것도 가능하다.