노즐 - nozzle

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레지스트와 현상액을 배출하는 선단(先端)부분. 스테인레스와 붕소 수지로 만들어져 있다. 용도에 의해, 서크백(suck back)특성향상을 위한 형상, 내경, 외경에 대한 연구가 이루어지고 있다.