네거티브레지스트 - negative resist

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

빛, X선 또는 전자빔으로 노광하면 현상액이 중합(重合) 또는 가교(架橋)되어 굳어져, 현상 후까지 기판표면에 남는 특성을 가진 감광성 재료로써, 열특성과 내화학성이 뛰어나지만, 콘트래스트～1.5 정도이고, 현상시 현상액이 노광된 레지스트 사이에 끼어들어 패턴을 부풀리는 팽윤(swelling)현상으로 해상도가 2～3㎛로 낮아 팽윤현상이 없는 네거티브레지스트를 연구중이다.

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