자연산화막 - native oxide

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼를 산화성 약액(예를들면, APM액)과 순수로 침적처리할 때, 웨이퍼표면에 만들어지는 1nm 정도의 얇은 이산화규소(SiO2). 수분이 있는 대기중에 장기간 방치될 때도 형성된다.