틸트 스텝 - multiple tilt angle implantation

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

이온주입을 할 때, 한 장의 웨이퍼에 틸트각을 여러 번 변화시키면서 이온을 주입하는 것. 이온주입 중에는 틸트각은 고정되어, 일정량주입 후, 틸트각을 변화시키고 그 각에 대한 이온주입을 실시한다. 보통 주입 중에는, 웨이퍼는 연속회전된다.