다층막 미러광학계 - multilever mirror optics

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

두 개의 물질을 번갈아 가며 적층시켜 정밀도가 좋은 다층막미러로 구성된 광학계. X선 영역에서 높은 반사율이 얻어지고, 축소투영리소그래피에 이용된다. 파장 13nm에서, Mo와 Si의 다층막미러계에 의해 50nm의 L&S 패턴이 형성된다.